Walking Driveを利用した超精密アライメントテーブルの開発

著者

• 社本, 英二 シャモト, エイジ

書誌事項

Walking Driveを利用した超精密アライメントテーブルの開発

社本英二[ほか著]

[出版者不明], 2003.4

タイトル別名

平成13〜14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

タイトル読み

Walking Drive オ リヨウ シタ チョウセイミツ アライメント テーブル ノ カイハツ

注記

課題番号:13555036

研究分担者: 森脇俊道, 中本剛, 樋野励, 山内朗

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA63930281
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: v, 43枚
• 大きさ: 30cm