界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究

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界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究

安田幸夫[ほか著]

[出版者不明], 2003.3

Other Title

平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

Title Transcription

カイメン ソセイ ヘンチョウソウ オ モチイタ サブ 0.1μmセダイ ULSIヨウ テイテイコウ コンタクト コウゾウ ノ ケンキュウ

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Note

課題番号:12555005

研究分担者: 酒井朗, 池田浩也, 中塚理

Details

  • NCID
    BA63954665
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    118p
  • Size
    30cm
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