界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究

著者

• 安田, 幸夫 ヤスダ, ユキオ

書誌事項

界面組成変調層を用いたサブ0.1μm世代ULSI用低抵抗コンタクト構造の研究

安田幸夫[ほか著]

[出版者不明], 2003.3

タイトル別名

平成12年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究B2)研究成果報告書

タイトル読み

カイメン ソセイ ヘンチョウソウ オ モチイタ サブ 0.1μmセダイ ULSIヨウ テイテイコウ コンタクト コウゾウ ノ ケンキュウ

注記

課題番号:12555005

研究分担者: 酒井朗, 池田浩也, 中塚理

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA63954665
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 118p
• 大きさ: 30cm