メソポアおよび高次構造制御による超高感度半導体ガスセンサの設計
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書誌事項
メソポアおよび高次構造制御による超高感度半導体ガスセンサの設計
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度)
[九州大学], 2003.3
- タイトル別名
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平成13年度-平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(13450354)
- タイトル読み
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メソポア オヨビ コウジ コウゾウ セイギョ ニヨル チョウ コウカンド ハンドウタイ ガス センサ ノ セッケイ
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注記
研究分担者:安澤幸隆ほか