Smart sensors, actuators, and MEMS : 19-21 May 2003, Maspalomas, Gran Canaria, Spain

著者

    • Chiao, Jung-Chih
    • Varadan, Vijay K.
    • Cané, Carles

書誌事項

Smart sensors, actuators, and MEMS : 19-21 May 2003, Maspalomas, Gran Canaria, Spain

Jung-Chih Chiao, Vijay K. Varadan, Cané, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering

（Proceedings / SPIE -- the International Society for Optical Engineering, v. 5116）

SPIE, c2003

  • pt. 1
  • pt. 2

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  • Proceedings

    SPIE -- the International Society for Optical Engineering

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA64014734
  • ISBN
    • 0819449768
    • 0819449768
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Bellingham, Wash.
  • ページ数/冊数
    2 v.
  • 大きさ
    28 cm
  • 親書誌ID
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