超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

書誌事項

超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

研究代表者 中村哲郎

(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成元年度)

中村哲郎, 1991.3

タイトル別名

平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

タイトル読み

チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ

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注記

研究課題番号: 01460140

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA64069259
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    [豊橋]
  • ページ数/冊数
    51p
  • 大きさ
    26cm
  • 分類
  • 親書誌ID
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