超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
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超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用
(科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成元年度)
中村哲郎, 1991.3
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平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書
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チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ
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研究課題番号: 01460140