超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

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超薄膜SiヘテロエピタキシャルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

研究代表者 中村哲郎

（科学研究費補助金(一般研究(B))研究成果報告書, 平成元年度）

中村哲郎, 1991.3

Other Title

平成元年度科学研究費補助金(一般研究B)研究成果報告書

Title Transcription

チョウハクマク Si ヘテロエピタキシャル SOI コウゾウ ノ ケイセイ ト ハクマク トランジスタ エノ オウヨウ

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研究課題番号: 01460140

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Details

  • NCID
    BA64069259
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    eng
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    51p
  • Size
    26cm
  • Classification
  • Parent Bibliography ID
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