半導体製造における排ガス処理システムとその安全対策

著者

• 樫原, 稔 カシハラ, ミノル
• 中島, 登 ナカジマ, ノボル
• 壷内, 俊宏 ツボウチ, トシヒロ

書誌事項

半導体製造における排ガス処理システムとその安全対策

[樫原稔, 中島登, 壷内俊宏][編]

サイペックREALIZE事業部門, 2001.8

タイトル別名

Gas treatment system and safety measures in semiconductor industry

タイトル読み

ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル ハイガス ショリ システム ト ソノ アンゼン タイサク

注記

標題紙に「sipec」の記述あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA64094198
• ISBN:
  • 4898080332
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 10, 245, 4p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 549.8
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 半導体
  • NDLSH : 排気ガス