半導体製造における排ガス処理システムとその安全対策

Author(s)

    • 樫原, 稔 カシハラ, ミノル
    • 中島, 登 ナカジマ, ノボル
    • 壷内, 俊宏 ツボウチ, トシヒロ

Bibliographic Information

半導体製造における排ガス処理システムとその安全対策

[樫原稔, 中島登, 壷内俊宏][編]

サイペックREALIZE事業部門, 2001.8

Other Title

Gas treatment system and safety measures in semiconductor industry

Title Transcription

ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル ハイガス ショリ システム ト ソノ アンゼン タイサク

Available at  / 4 libraries

Note

標題紙に「sipec」の記述あり

Details

  • NCID
    BA64094198
  • ISBN
    • 4898080332
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    10, 245, 4p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Subject Headings
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