モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析

Author(s)

• 新川, 和夫 アラカワ, カズオ

Bibliographic Information

モアレ干渉法による先端電子デバイスの熱変形解析

研究代表者 新川和夫

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成13年度-平成14年度）

[九州大学], 2003.3

Other Title

平成13年度-平成14年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(13650091)

Title Transcription

モアレ カンショウホウ ニヨル センタン デンシ デバイス ノ ネツ ヘンケイ カイセキ

Details

• NCID: BA6411814X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401