準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

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準安定原子のペニングイオン化を用いた半導体表面上の金属原子吸着の研究

研究代表者 西垣敏

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 昭和61年度）

西垣敏, 1987.3

Other Title

昭和61年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書

Title Transcription

ジュン アンテイ ゲンシ ノ ペニング イオンカ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメンジョウ ノ キンゾク ゲンシ キュウチャク ノ ケンキュウ

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Note

研究課題番号: 60550009

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Details

  • NCID
    BA64122216
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [豊橋]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
  • Classification
  • Parent Bibliography ID
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