負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
著者
書誌事項
負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発
[石川順三], 1988.3
- タイトル別名
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昭和61・62年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : (課題番号 61460065)
- タイトル読み
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フ イオン ビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
京都大学工学部