負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

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負イオンビームによる蒸着膜・結晶性制御技術の開発

石川順三 研究代表者

[石川順三], 1988.3

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昭和61・62年度科学研究費補助金一般研究(B)研究成果報告書 : (課題番号 61460065)

Title Transcription

フ イオン ビーム ニ ヨル ジョウチャクマク ケッショウセイ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ

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京都大学工学部

Details

  • NCID
    BA64427585
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [京都]
  • Pages/Volumes
    70p
  • Size
    26cm
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