多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜

Author(s)

• 新宮原, 正三 シングウバラ, ショウゾウ

Bibliographic Information

多層配線技術の最新動向 : 銅配線/低誘電率膜

新宮原正三

（Focus Report, 12）

EDリサーチ社, 2002.11

Title Transcription

タソウ ハイセン ギジュツ ノ サイシン ドウコウ : ドウ ハイセン/ テイ ユウデンリツ マク

Details

• NCID: BA64742389
• ISBN:
  • 4901790226
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 50枚
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA58398391