マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

Author(s)

• 吉村, 長光 ヨシムラ, ナガミツ

Bibliographic Information

マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

吉村長光著

エヌ・ティー・エス, 2003.12

Other Title

マイクロ・ナノ電子ビーム装置における真空技術

Title Transcription

マイクロ ナノ デンシ ビーム ソウチ ニオケル シンクウ ギジュツ

Note

監修: 岡野達雄

参考・引用文献: 各章末

Details

• NCID: BA6508397X
• ISBN:
  • 4860430395
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 6, 338, 2, 10p
• Size: 26cm
• Classification:
  • NDC9 : 534.93
  • NDLC : NB126
• Subject Headings:
  • BSH : 真空技術
  • BSH : 電子線
  • NDLSH : 真空工学