Chemical vapor deposition polymerization : the growth and properties of parylene thin films

著者

• Fortin, Jeffrey B.
• Lu, Toh-Ming

書誌事項

Chemical vapor deposition polymerization : the growth and properties of parylene thin films

by Jeffrey B. Fortin, Toh-Ming Lu

Kluwer Academic Publishers, c2004

注記

Includes bibliographical references (p. [91]-99) and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA65117980
• ISBN:
  • 1402076886
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boston
• ページ数/冊数: xvi, 102 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • LCC : TS695
  • DC22 : 621.3815/2
• 件名:
  • LCSH : Chemical vapor deposition
  • LCSH : Thin films