原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

Author(s)

• 横山, 新 ヨコヤマ, シン

Bibliographic Information

原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

研究代表者 横山新

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度〜平成13年度）

広島大学ナノデバイス・システム研究センター, 2003.3

Title Transcription

ゲンシソウ センタク セイチョウ オ リヨウ シタ チョウビサイ トランジスタ サクセイホウ ノ ケンキュウ

Note

課題番号: 11450125

• NCID: BA65118462
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: 東広島
• Pages/Volumes: 53p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701