原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

Author(s)

    • 横山, 新 ヨコヤマ, シン

Bibliographic Information

原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

研究代表者 横山新

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度〜平成13年度）

広島大学ナノデバイス・システム研究センター, 2003.3

Title Transcription

ゲンシソウ センタク セイチョウ オ リヨウ シタ チョウビサイ トランジスタ サクセイホウ ノ ケンキュウ

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Note

課題番号: 11450125

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Details

  • NCID
    BA65118462
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    東広島
  • Pages/Volumes
    53p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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