液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発
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液体原料気化CVD法による誘電体薄膜の製造とプロセスシミュレータの開発
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成12年度〜平成14年度)
広島大学大学院工学研究科, 2003.3
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エキタイ ゲンリョウ キカ CVDホウ ニ ヨル ユウデンタイ ハクマク ノ セイゾウ ト プロセスシミュレータ ノ カイハツ
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課題番号: 12450319