微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明
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微細構造をプラスチック・ガラスに型転写する技術の開発とそのプロセス中の現象の解明
松本潔, 2003.3
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平成13年度〜平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
文部科学省科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
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ビサイ コウゾウ オ プラスチック ガラス ニ カタ テンシャ スル ギジュツ ノ カイハツ ト ソノ プロセス チュウノ ゲンショウ ノ カイメイ
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Note
課題番号: 13450053
研究分担者: 中尾正之, 田中秀治, 米山猛