スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価

Author(s)

    • 中佐, 啓治郎 ナカサ, ケイジロウ

Bibliographic Information

スパッタおよびイオン注入法で作製したマイクロマテリアルの動的特性評価

研究代表者 中佐啓治郎

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成13〜14年度）

広島大学大学院工学研究科, 2003.3

Title Transcription

スパッタ オヨビ イオン チュウニュウホウ デ サクセイ シタ マイクロマテリアル ノ ドウテキ トクセイ ヒョウカ

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Note

課題番号: 13650090

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Details

  • NCID
    BA65818770
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    東広島
  • Pages/Volumes
    58p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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