光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発
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光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度)
[山口大学工学部], 2002.3
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ヒカリ MEMS ノ タメ ノ アクチュエータ オ ナイゾウシタ ウゴク ヒカリ ドウハロ ノ カイハツ
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研究課題番号:12838003