光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発

Author(s)

• 南, 和幸 ミナミ, カズユキ

Bibliographic Information

光MEMSのためのアクチュエータを内蔵した動く光導波路の開発

研究代表者 南和幸

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成12年度-平成13年度）

[山口大学工学部], 2002.3

Title Transcription

ヒカリ MEMS ノ タメ ノ アクチュエータ オ ナイゾウシタ ウゴク ヒカリ ドウハロ ノ カイハツ

Note

研究課題番号:12838003

Details

• NCID: BA66897717
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [宇部]
• Pages/Volumes: 15p(片面頁付)
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401