わかる集積回路の秘密

著者

• 上西, 勝三 カミニシ, カツゾウ

書誌事項

わかる集積回路の秘密

上西勝三著

日本理工出版会, 2004.5

タイトル別名

集積回路の秘密 : わかる

タイトル読み

ワカル シュウセキ カイロ ノ ヒミツ

内容説明・目次

内容説明

本書の目的は集積回路を理解する入門書としてだけでなく、一般産業界、経済界の人たちにも集積回路の基本的なことについて理解してもらうことである。

目次

• １章　集積回路の発展
• ２章　集積回路の基礎
• ３章　設計および材料の準備と工程
• ４章　酸化膜と不純物拡散
• ５章　金属膜と絶縁膜の成膜
• ６章　ホトリソとエッチング
• ７章　クリーン化と洗浄
• ８章　組立・信頼性と検査
• ９章　集積回路の今後

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA67292915
• ISBN:
  • 4890192352
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: vii, 244p
• 大きさ: 21cm
• 分類:
  • NDC8 : 549.7
  • NDC9 : 549.7
• 件名:
  • BSH : 集積回路