わかる集積回路の秘密
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わかる集積回路の秘密
日本理工出版会, 2004.5
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集積回路の秘密 : わかる
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ワカル シュウセキ カイロ ノ ヒミツ
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Description and Table of Contents
Description
本書の目的は集積回路を理解する入門書としてだけでなく、一般産業界、経済界の人たちにも集積回路の基本的なことについて理解してもらうことである。
Table of Contents
- １章 集積回路の発展
- ２章 集積回路の基礎
- ３章 設計および材料の準備と工程
- ４章 酸化膜と不純物拡散
- ５章 金属膜と絶縁膜の成膜
- ６章 ホトリソとエッチング
- ７章 クリーン化と洗浄
- ８章 組立・信頼性と検査
- ９章 集積回路の今後
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