高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究
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高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究
（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）
[九州大学], 1997.3
- タイトル別名
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平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07458093
- タイトル読み
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コウシュウハ プラズマ ビリュウシカン ソウゴ サヨウ ノ ホウデン シュウハスウ イゾンセイ ニ カンル ケンキュウ
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注記
研究分担者:福澤剛,川崎仁晴