高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

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高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

研究代表者 渡辺 征夫

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）

[九州大学], 1997.3

Other Title

平成7年度〜平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 07458093

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コウシュウハ プラズマ ビリュウシカン ソウゴ サヨウ ノ ホウデン シュウハスウ イゾンセイ ニ カンル ケンキュウ

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研究分担者:福澤剛,川崎仁晴

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Details

  • NCID
    BA67707464
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    85p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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