量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション

Author(s)

• 佐藤, 恒之 サトウ, ツネユキ

Bibliographic Information

量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション

研究代表者 佐藤恒之

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）

[九州大学], 1997.3

Other Title

平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(研究課題番号07650925)

Title Transcription

リョウシ ブンシ ドウリキガク ニ ヨル タセイブンケイ CVD ノ ハンノウ カイセキ ト ショキ セイマク シミュレーション

• NCID: BA6775255X
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [福岡]
• Pages/Volumes: 97p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30764121