量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション

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量子分子動力学による多成分系CVDの反応解析と初期成膜シミュレーション

研究代表者 佐藤恒之

（科学研究費補助金(基盤研究C)研究成果報告書, 平成7年度-平成8年度）

[九州大学], 1997.3

Other Title

平成7年度-平成8年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書(研究課題番号07650925)

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リョウシ ブンシ ドウリキガク ニ ヨル タセイブンケイ CVD ノ ハンノウ カイセキ ト ショキ セイマク シミュレーション

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Details

  • NCID
    BA6775255X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [福岡]
  • Pages/Volumes
    97p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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