微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立
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書誌事項
微小硬度法による多層薄膜の機械的性質の評価システムの確立
（科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書, 平成7年度〜平成8年度）
[九州大学], 1997.3
- タイトル別名
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平成7年度〜8年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書 07555351
- タイトル読み
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ビショウ コウドホウ ニヨル タソウ ウスマク ノ キカイテキ セイシツ ノ ヒョウカ システム ノ カクリツ
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注記
研究分担者:林安徳ほか