マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索

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マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索

研究代表者 白井肇

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

[白井肇], 2004.5

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マイクロ プラズマ ニ ヨル ナノシリコン ケッショウ ノ サクセイ ト キョクショ コウガク デンシ ブッセイ ノ タンサク

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研究課題番号14550289

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  • NCID
    BA67980565
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [さいたま]
  • Pages/Volumes
    154p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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