マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索

著者

• 白井, 肇 シライ, ハジメ

書誌事項

マイクロプラズマによるナノシリコン結晶の作製と局所光学・電子物性の探索

研究代表者 白井肇

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14年度-平成15年度）

[白井肇], 2004.5

タイトル読み

マイクロ プラズマ ニ ヨル ナノシリコン ケッショウ ノ サクセイ ト キョクショ コウガク デンシ ブッセイ ノ タンサク

注記

研究課題番号14550289

• NII書誌ID(NCID): BA67980565
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [さいたま]
• ページ数/冊数: 154p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401