電子光計測
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電子光計測
コロナ社, 2004.8
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Electro-optical measurement and optical MEMS sensors
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デンシ ヒカリ ケイソク
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Note
引用・参考文献: p[148]-152
Description and Table of Contents
Table of Contents
- １章 計測工学の基礎（計測技術概要；測定誤差とその扱い ほか）
- ２章 光計測の基礎（光計測概要；干渉応用計測 ほか）
- ３章 電子光計測（光ファイバセンサ；光集積回路応用センサ ほか）
- ４章 多次元光計測（多重計測；複合計測 ほか）
- ５章 先端光計測（光圧関連計測；光近接場応用計測 ほか）
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