半導体および絶縁体へのイオン注入技術

著者

• 大吉, 啓司 オオヨシ, ケイジ

書誌事項

半導体および絶縁体へのイオン注入技術

大吉啓司著

アイピーシー, 2003.3

タイトル読み

ハンドウタイ オヨビ ゼツエンタイ エノ イオン チュウニュウ ギジュツ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA68365763
• ISBN:
  • 4901493329
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: iii, 151p
• 大きさ: 27cm