シリコンCZ炉における酸素移動の総合的シミュレーションと実験的検証

著者

• 今石, 宣之 イマイシ, ノブユキ

書誌事項

シリコンCZ炉における酸素移動の総合的シミュレーションと実験的検証

研究代表者 今石宣之

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成15年度）

[九州大学], 2004.4

タイトル別名

平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書(課題番号13450321)

タイトル読み

シリコン CZロ ニ オケル サンソ イドウ ノ ソウゴウテキ シミュレーション ト ジッケンテキ ケンショウ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA68420850
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [福岡]
• ページ数/冊数: 108p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701