シリコンCZ炉における酸素移動の総合的シミュレーションと実験的検証
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書誌事項
シリコンCZ炉における酸素移動の総合的シミュレーションと実験的検証
(科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成13年度-平成15年度)
[九州大学], 2004.4
- タイトル別名
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平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究B(2))研究成果報告書(課題番号13450321)
- タイトル読み
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シリコン CZロ ニ オケル サンソ イドウ ノ ソウゴウテキ シミュレーション ト ジッケンテキ ケンショウ