解説半導体ウエハプロセス

著者

• Van Zant, Peter

書誌事項

解説半導体ウエハプロセス

ピーター・バン・ザント 著 ; 篠田省輔 , 安藤浩二 訳

マーコム・インターナショナル, 1985.2

タイトル別名

Wafer Fabrication

タイトル読み

カイセツ ハンドウタイ ウエハ プロセス

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA68427667
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 272p
• 大きさ: 29cm