極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

著者

• 佐野, 伸行 サノ, ノブユキ

書誌事項

極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

佐野伸行研究代表者

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成14-15年度）

佐野伸行, 2004.3

タイトル別名

極微細半導体素子のしきい値電圧ばらつき解析のための離散不純物モデルの構築

タイトル読み

ゴク ビサイ ハンドウタイ ソシ ノ シキイチ デンアツ バラツキ カイセキ ノ タメノ リサン フジュンブツ モデル ノ コウチク

注記

研究課題番号: 14550315

研究代表者: 佐野伸行

• NII書誌ID(NCID): BA68541673
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [つくば]
• ページ数/冊数: iii, 122p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30195401