アモルファス窒化炭素薄膜のすぐれたナノ耐摩耗性機構の解明
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書誌事項
アモルファス窒化炭素薄膜のすぐれたナノ耐摩耗性機構の解明
[出版者不明], 2004.3
- タイトル別名
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平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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アモルファス チッカ タンソ ハクマク ノ スグレタ ナノ タイマモウセイ キコウ ノ カイメイ
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注記
課題番号:13450293
研究分担者: 杉村博之, 井上泰志, 河田一喜ほか