X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析
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X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析
[出版社不明], 2004.4
- タイトル別名
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X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物原子分布の原子層レベル解析
平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
- タイトル読み
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Xセン CTR サンラン ソクテイホウ ニヨル ハンドウタイチュウ ノ フジュンブツ ブンプ ノ ゲンシソウ レベル カイセキ
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注記
課題番号:14550007
研究分担者: 竹田美和, 藤原康文, 大渕博宣
