X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

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X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

田渕雅夫[ほか著]

[出版社不明], 2004.4

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X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物原子分布の原子層レベル解析

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

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Xセン CTR サンラン ソクテイホウ ニヨル ハンドウタイチュウ ノ フジュンブツ ブンプ ノ ゲンシソウ レベル カイセキ

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Note

課題番号:14550007

研究分担者: 竹田美和, 藤原康文, 大渕博宣

Details

  • NCID
    BA68740523
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
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