X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

著者

• 田渕, 雅夫 タブチ, マサオ

書誌事項

X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物分布の原子層レベル解析

田渕雅夫[ほか著]

[出版社不明], 2004.4

タイトル別名

X線CTR散乱測定法による半導体中の不純物原子分布の原子層レベル解析

平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書

タイトル読み

Xセン CTR サンラン ソクテイホウ ニヨル ハンドウタイチュウ ノ フジュンブツ ブンプ ノ ゲンシソウ レベル カイセキ

注記

課題番号:14550007

研究分担者: 竹田美和, 藤原康文, 大渕博宣

• NII書誌ID(NCID): BA68740523
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 30cm