Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2004 : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A.
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Materials, technology and reliability for advanced interconnects and low-k dielectrics - 2004 : symposium held April 13-15, 2004, San Francisco, California, U.S.A.
（Materials Research Society symposium proceedings, v. 812）
Materials Research Society, c2004
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