光微分照射デイープ・エッチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

Author(s)

Bibliographic Information

光微分照射デイープ・エッチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

外崎昭研究代表者

（文部省科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書, 平成2年度-平成3年度）

[外崎昭], 1992.3

Other Title

平成3年度文部省科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書

Title Transcription

ヒカリ ビブン ショウシャ デイープ エッチング ノ タメノ コウセイノウ シンクウ ジョウチャク ソウチ ノ シサク ト オウヨウ

Available at  / 1 libraries

Search this Book/Journal

Note

課題番号:02559005

Related Books： 1-1 of 1

Details

  • NCID
    BA69530956
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [山形]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
Page Top