光微分照射デイープ・エッチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

著者

• 外崎, 昭 トノサキ, アキラ

書誌事項

光微分照射デイープ・エッチングのための高性能真空蒸着装置の試作と応用

外崎昭研究代表者

（文部省科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書, 平成2年度-平成3年度）

[外崎昭], 1992.3

タイトル別名

平成3年度文部省科学研究費補助金(試験研究)研究成果報告書

タイトル読み

ヒカリ ビブン ショウシャ デイープ エッチング ノ タメノ コウセイノウ シンクウ ジョウチャク ソウチ ノ シサク ト オウヨウ

注記

課題番号:02559005

• NII書誌ID(NCID): BA69530956
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: engjpn
• 出版地: [山形]
• ページ数/冊数: 1冊
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BA69530617