Enabling technology for MEMS and nanodevices

著者

• Baltes, H. (Henry)

書誌事項

Enabling technology for MEMS and nanodevices

edited by H. Baltes...[et al.]

（Advanced micro & nanosystems, v. 1）

Wiley-VCH, c2004

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA70371394
• ISBN:
  • 352730746X
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xii, 427 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC22 : 620.5
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
  • LCSH : Nanotechnology
• 親書誌ID:
  • BA70371204