MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用
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MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用
(TRC R&D library)
東レリサーチセンター, 2004.5
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MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ
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引用文献あり