MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

Author(s)

• 東レリサーチセンター調査研究部門 トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン

Bibliographic Information

MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

東レリサーチセンター調査研究部門制作

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2004.5

Title Transcription

MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ

Note

引用文献あり

• NCID: BA70523925
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 8, iv, 383p
• Size: 30cm
• Classification:
  • NDC9 : 530
  • NDLC : NB21
• Subject Headings:
  • NDLSH : マイクロマシン
• Parent Bibliography ID:
  • BN03390472