MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

著者

• 東レリサーチセンター調査研究部門 トウレ リサーチ センター チョウサ ケンキュウ ブモン

書誌事項

MEMS・NEMSの最新動向 : マイクロマシンの基礎と応用

東レリサーチセンター調査研究部門制作

（TRC R&D library）

東レリサーチセンター, 2004.5

タイトル読み

MEMS NEMS ノ サイシン ドウコウ : マイクロ マシン ノ キソ ト オウヨウ

注記

引用文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA70523925
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 8, iv, 383p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 530
  • NDLC : NB21
• 件名:
  • NDLSH : マイクロマシン
• 親書誌ID:
  • BN03390472