Force sensors for microelectronic packaging applications

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Force sensors for microelectronic packaging applications

J. Schwizer, M. Mayer, O. Brand

（Microtechnology and MEMS）

Springer-Verlag, c2005

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA70688743
  • ISBN
    • 3540221875
  • LCCN
    2004110615
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Berlin
  • ページ数/冊数
    viii, 178 p.
  • 大きさ
    24 cm
  • 親書誌ID
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