MEMSのはなし
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MEMSのはなし
(Science and technology)
日刊工業新聞社, 2005.1
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MEMS ノ ハナシ
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Note
参考文献: 各章末
Description and Table of Contents
Description
MEMSとは関わりが今までなかったが、これからこの分野に参入したい企業の方や学生の方のために著したのが本書である。本書では、MEMSの製造方法、様々な応用と動作原理、そしてその設計手法について概説する。MEMS技術に興味を持つ方、特に他分野からMEMS技術の応用を目指している技術者・研究者を想定して、できるだけ平易で実用的な内容とした。
Table of Contents
- 1章 身近で活躍するMEMS
- 2章 MEMSの製造方法
- 3章 MEMSのパッケージング
- 4章 MEMS製造のキーポイント
- 5章 MEMSにおける微細成形技術
- 6章 MEMSセンサ
- 7章 MEMSアクチュエータ
- 8章 MEMS設計・シミュレーションの実際
- 9章 フォトマスクの書き方
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