高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

著者

• 堀池, 靖浩 ホリイケ, ヤスヒロ

書誌事項

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

研究代表者 堀池靖浩

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成7年度）

[堀池靖浩], [1997.2]

タイトル別名

平成7年度科学研究費補助金(試験研究B) 研究成果報告書

タイトル読み

コウソク・ コウ キンイツ デジタルCVD ヲ モチイタ ULSI ヨウ コウキノウセイ ウスマク ノ サクセイ

注記

課題番号:05555089

• NII書誌ID(NCID): BA71052788
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 57p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BN07858102