高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

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高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

研究代表者 堀池靖浩

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成7年度）

[堀池靖浩], [1997.2]

Other Title

平成7年度科学研究費補助金(試験研究B) 研究成果報告書

Title Transcription

コウソク・ コウ キンイツ デジタルCVD ヲ モチイタ ULSI ヨウ コウキノウセイ ウスマク ノ サクセイ

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Note

課題番号:05555089

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Details

  • NCID
    BA71052788
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [出版地不明]
  • Pages/Volumes
    57p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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