CMOS-MEMS

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CMOS-MEMS

volume editors, O. Brand and G.K. Fedder

（Advanced micro & nanosystems, v. 2）

Wiley-VCH, c2005

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BA71237998
  • ISBN
    • 9783527310807
  • 出版国コード
    gw
  • タイトル言語コード
    eng
  • 本文言語コード
    eng
  • 出版地
    Weinheim
  • ページ数/冊数
    xiv, 594 p.
  • 大きさ
    25 cm
  • 親書誌ID
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