内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
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書誌事項
内部アンテナ型大容積RFプラズマ源を用いた高性能プラズマイオン注入プロセスの開発
[節原裕一], 2004.5
- タイトル別名
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平成13年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書 : (課題番号13555199)
- タイトル読み
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ナイブ アンテナガタ ダイヨウセキ RF プラズマゲン オ モチイタ コウセイノウ プラズマ イオン チュウニュウ プロセス ノ カイハツ
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注記
京都大学大学院工学研究科