薄膜製造技術の応用と薄膜評価

著者

• トリケップス トリケップス

書誌事項

薄膜製造技術の応用と薄膜評価

（トリケップス技術資料集, 第23号）

トリケップス, 1979.11

タイトル読み

ハクマク セイゾウ ギジュツ ノ オウヨウ ト ハクマク ヒョウカ

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BA72320805
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 345p
• 大きさ: 26cm
• 親書誌ID:
  • BN10501019