LSIの多層配線技術

著者

• 特許庁 トッキョチョウ

書誌事項

LSIの多層配線技術

特許庁編

（特許出願技術動向調査, 平成15年度 ; 6）

発明協会, 2004.12

タイトル読み

LSI ノ タソウ ハイセン ギジュツ

• NII書誌ID(NCID): BA72490339
• ISBN:
  • 4827107785
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 357p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDC9 : 507.23
• 親書誌ID:
  • BA61370743